MOSFET的核心部分是柵極及其下面的MOS系統。MOSFET的工作就是通過控制MOS的半導體表面勢阱——反型層(導電溝道)來實現的。
(1)反型層(溝道)的產生和消除:
產生反型層或者使反型層消失,這都可以利用柵極電壓來加以控制。使反型層產生或者消失時的柵極電壓就是器件的閾值電壓VT。對于增強型器件,該閾值電壓稱為開啟電壓;對于耗盡型器件,該閾值電壓稱為夾斷電壓。
(2)反型層(溝道)厚度的控制:
柵極電壓可均勻地控制溝道的厚度,而源-漏電壓將使溝道厚度發生不均勻變化(源極端較寬,漏極端較窄)。對于耗盡型MOSFET,在一定的柵極電壓VGS下,當源-漏電壓VDS較小時,溝道的導電性類似于電阻——有線性的輸出伏安特性;當源-漏電壓增大到所謂飽和電壓(VDS>VGS-VT)時,即將使溝道在漏極端夾斷,這時輸出源-漏電流即達到最大——飽和輸出電流。
溝道夾斷區也是一種耗盡層,其中存在較高的電場,只要有載流子漂移到夾斷區的邊緣,很快就會被掃向漏極、并輸出電流。因此,溝道的夾斷不但不阻擋導電,相反的,而是能夠更好地導電;只有當柵極電壓使得溝道從頭到尾都被夾斷——整個溝道消失以后,器件才不能導電,即進入截止狀態。
(3)反型層(溝道)中的載流子濃度很大:
因為溝道中的少數載流子濃度與表面勢阱的深度(正比于柵極電壓)有指數函數關系,因此,當柵極電壓使得半導體表面出現溝道時,溝道中的少數載流子濃度將很大(等于、甚至大于體內的多數載流子濃度)。
從而,表面反型層對于柵極電壓具有屏蔽作用,這就是說,當溝道出現以后,柵極電壓再增大,也不會影響到反型層下面的半導體的狀態。
(4)反型層(溝道)下面的耗盡層厚度最大:
半導體表面反型層是在表面耗盡層厚度達到最大以后才出現的,所以反型層的下面必然存在有最大厚度的耗盡層;實際上,該耗盡層也就是所謂電場感應p-n結的勢壘區。
同時,因為表面反型層的屏蔽作用,則柵極電壓再怎么增大,此耗盡層厚度也不會再增加,即保持為最大的耗盡層厚度。雖然反型層下面的耗盡層厚度不會受到柵極電壓的影響,但是,該耗盡層將會受到所謂襯偏電壓(為加在襯底與源極之間的反向電壓)的影響。
因為襯偏電壓本來就是加在電場感應p-n結之上的反向電壓,所以反型層下面的耗盡層最大厚度還會隨著襯偏電壓的增大而展寬;這種襯偏電壓的作用,即將使得閾值電壓也隨之而有所增大,這就是所謂的襯偏效應。
(5)反型層(溝道)的厚度很薄:
因為反型層(溝道)中的載流子濃度很大,所以其厚度也相應的很薄,一般平均約為5nm。這個厚度與反型層下面的耗盡層厚度相比,即可忽略。因此,在討論外加電壓的作用時,柵極電壓在反型層(溝道)上的壓降往往可以不必考慮。
(6)反型層(溝道)中的電荷總數量很小:
雖然反型層中的載流子濃度很大,但是由于其厚度很薄,所以在面電荷數量上,與其下面耗盡層中的空間面電荷數量相比,則還是很小的。因此,在討論MOS電容時,往往即可忽略反型層中這些電荷的影響。
(7)反型層(溝道)中的載流子是二維自由載流子:
因為反型層(溝道)很薄,則其中的載流子被限制在勢阱內,因此在縱向(垂直表面的方向)上,載流子的能量是量子化的(分裂為許多二維的子能帶);
但是這些載流子在平行表面的方向(橫向)上卻是自由的,所以反型層(溝道)中的載流子可以認為是所謂二維電子氣(2-DEG)或者二維空穴氣(2-DHG)。
由于溝道中的載流子濃度很大,所以溝道的橫向導電作用將會很強。這種二維載流子氣的良好的橫向導電特性,也就是MOSFET工作的物理基礎。
(8)反型層(溝道)中載流子的雙重性質:
對于半導體襯底來說,顯然反型層(溝道)中的載流子是少數載流子;但是從其中二維載流子氣的橫向導電作用來看,這些載流子只能認為是多數載流子——在源漏電壓產生的電場作用下,在溝道中進行漂移、并輸出電流。
在討論柵極電壓作用于半導體表面而產生的電容效應時,反型層(溝道)中的載流子應該認為是少數載流子,因此就需要考慮它們的產生-復合壽命,則載流子濃度的變化不可能能很迅速。因而在高頻時即可忽略它們的影響(這實際上也就是忽略溝道載流子擴散電容的影響)。
但是在低頻時,反型層(溝道)中載流子濃度變化的影響才需要考慮。這一點在分析MOS電容的C-V特性時很重要,考慮與不考慮溝道載流子對電容的貢獻,就是區分高頻與低頻MOS/C-V曲線的依據。
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